1 真空系統(tǒng)設(shè)計注意事項
真空元件，如閥門、捕集器、收塵器、真空泵等相互連接時，要盡量使抽氣管路短而粗，管道流導(dǎo)大，導(dǎo)管直徑一般不小于泵口直徑。為了防止泵體震動，常用軟管減震，并調(diào)整裝配誤差。所設(shè)計的真空系統(tǒng)要便于測量和檢漏；真空規(guī)管要避免設(shè)在通過帶水套的殼體上，應(yīng)設(shè)置在主泵入口管道上，要上下直立，勿橫放。
真空系統(tǒng)配置的閥門和管道應(yīng)符合系統(tǒng)抽氣時間短、使用方便、安全可靠的原則。在機(jī)械泵入口管道上要設(shè)一個放氣閥。真空系統(tǒng)的排氣要穩(wěn)定可靠，安裝、拆卸、維修容易，操作方便。在設(shè)計真空系統(tǒng)時，應(yīng)盡量采用新技術(shù)，使之具有自動控制和連鎖保護(hù)功能，并同時達(dá)到能耗低和造價低的目的。

2 主泵的選擇
選擇合適的主泵類型和規(guī)格是真空系統(tǒng)設(shè)計的關(guān)鍵。主泵應(yīng)根據(jù)反應(yīng)器所要達(dá)到的真空度和工作真空度、被抽氣體的種類及其中夾雜灰塵的情況，以及技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)來確定。圖6-10和圖6-11所示為采用常用的油擴(kuò)散泵、油增壓泵和機(jī)械增壓泵3種類型的中高真空泵作主泵的技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)比較。如果上述3種泵都適用作某種冶金真空系統(tǒng)的主泵時，必須考察其各自技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)的優(yōu)劣，最后確定最佳方案。由此可見，在冶金反應(yīng)器工作壓力p狀態(tài)不同的情況下，選用不同泵組會獲得不同的技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)。此時必須考察整套真空系統(tǒng)，而不能單獨考察主泵。實踐表明，冶金反應(yīng)器工作壓力p為0.1~13.3Pa時，以油增壓泵為主泵的真空系統(tǒng)比較經(jīng)濟(jì)；當(dāng)p<0.13Pa時，以油擴(kuò)散泵為主泵的排氣系統(tǒng)比較經(jīng)濟(jì)；當(dāng)p>13.3Pa時，以機(jī)械增壓泵為主泵的排氣系統(tǒng)比較經(jīng)濟(jì)。主泵的規(guī)格大小是按冶金反應(yīng)器所需的工作壓力和最大的排氣流量，并同時根據(jù)冶金反應(yīng)器的大小和需用的抽氣時間來確定的。

3配泵
主泵確定后還必須配置合適的前級泵，有時還需配置維持泵及預(yù)抽泵。復(fù)雜的真空機(jī)組常常將幾種泵串聯(lián)或并聯(lián)使用。前級泵的配置應(yīng)通過理論計算算出，或根據(jù)經(jīng)驗數(shù)據(jù)選取，也可參考原機(jī)械工業(yè)部制定的推薦值。機(jī)械增壓泵的前級泵抽速推薦值為機(jī)械增壓泵抽速的1/10.油擴(kuò)散泵和油增壓泵前級泵的推薦抽速見表6-2. 

真空系統(tǒng)的設(shè)計方案應(yīng)在實踐中不斷改進(jìn)，不斷完善。

4 鈦冶金真空系統(tǒng)舉例
鈦冶金中涉及的幾個真空系統(tǒng)的實例都有一些共同點，即系統(tǒng)的工作壓力稍大，真空度較低，反應(yīng)器內(nèi)排氣量大并夾帶有較多的固體灰塵。這種真空系統(tǒng)屬中真空系統(tǒng)，應(yīng)用普遍，一般需要2個以上的泵串聯(lián)組成。主泵選用油增壓泵－機(jī)械增壓泵，也可以是單一的油增壓泵。下面進(jìn)行具體介紹。

4.1 真空自耗電弧爐和凝殼爐的真空系統(tǒng)
真空自耗電弧爐是熔煉鈦和鈦合金的主要爐型，它的真空系統(tǒng)如圖6-12所示。這種真空系統(tǒng)具有典型性，特別適用于鈦錠的熔煉。該系統(tǒng)以油增壓泵和機(jī)械增壓泵為主泵，兩泵并聯(lián)，出口處串聯(lián)一機(jī)械增壓泵，再串聯(lián)前級泵－機(jī)械泵。它兼有機(jī)械增壓泵和油增壓泵的雙重特點，在真空自耗電弧爐熔煉過程中，在很寬的工作壓力范圍內(nèi)（130~0.1Pa)啟動快，抽速很大。
凝殼爐是鑄造鈦的主要爐型，它的真空系統(tǒng)如圖6-12所示。它所需要配置的泵組合與自耗電弧爐相似。

4.2 鎂還原煉鈦的真空系統(tǒng)
鎂還原法煉鈦常采用真空蒸餾法精制海綿鈦，采用真空系統(tǒng)能獲得較好的精煉效果。從理論上講，真空系統(tǒng)也可選擇油增壓

泵－機(jī)械增壓泵作主泵。實踐表明，采用機(jī)械增壓泵作主泵時，初期使用效果良好，但繼續(xù)使用后，泵腔轉(zhuǎn)子和定子間隙很快被蒸發(fā)出的MgCl2等固體塵粒堵塞無法繼續(xù)運轉(zhuǎn)。由于生產(chǎn)過程中有大量MgCl2固體塵粒蒸發(fā)，如選用機(jī)械增壓泵作主泵，則必須采取有效的收塵措施，所以只能用油增壓泵作主泵。主泵采用單一的油擴(kuò)散泵也不太適宜，這會延長蒸餾時間。這種真空系統(tǒng)的前級泵采用機(jī)械泵。

4.3 HDH法制取鈦粉的真空系統(tǒng)
用HDH法制取鈦粉時，在脫氫過程中有大量氫氣揮發(fā)，系統(tǒng)真空度很低，一般采用單一的機(jī)械泵即可。如要制取低氫鈦粉，真空機(jī)組主泵宜用油增壓泵，而不用機(jī)械增壓泵，這是因為油增壓泵脫氫效果好，而機(jī)械增壓泵脫氫效果差。它的前級泵宜用機(jī)械泵。在粉末冶金制取鈦制品時，燒結(jié)爐采用機(jī)械泵－油增壓泵機(jī)組作為真空系統(tǒng)是適宜的。主泵也采用油增壓泵。

本公司經(jīng)營產(chǎn)品分類：鈦棒、鈦管、鈦板、鈦陽極、鈦箔鈦帶、鈦法蘭、鈦絲、鈦靶材、鈦設(shè)備、鈦餅鈦環(huán)、鈦標(biāo)準(zhǔn)件、鈦加工件