
TA2純鈦圓靶的性質(zhì):
產(chǎn)品名稱:鈦及鈦合金靶
- 產(chǎn)品牌號:TAO、 TAI、 TA2、TA3、 TA9、TA10、 TC4、 GR2、 RG5等
- 產(chǎn)品材質(zhì):純鈦、鈦合金
- 產(chǎn)品狀態(tài):退火(M)
- 產(chǎn)品用途:治金、電子、醫(yī)療、化工
- 產(chǎn)品應(yīng)用:半導(dǎo)體分離、薄顏涂層材料、表面涂層、玻璃涂層工業(yè)
- 產(chǎn)品第規(guī):可按需定制
- 產(chǎn)品標準:GB/T16598-96 ASTMB381-98 GLB AMS
產(chǎn)品性能:純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應(yīng)用中,對靶材的純度要求也不盡相同。
鈦靶材的雜質(zhì)含量要求
靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如,半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。
億沐鑫產(chǎn)品分類:鈦棒、鈦管、鈦板、鈦陽極、鈦箔鈦帶、鈦法蘭、鈦絲、鈦靶材、鈦設(shè)備、鈦餅鈦環(huán)、鈦標準件、鈦加工件